測(cè)量顯微鏡，采用透、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作精密測(cè)量。適用于錄象磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測(cè)試。廣泛地適用于計(jì)量室、生產(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門。工作臺(tái)除作X、Y坐標(biāo)的移動(dòng)外，還可以作360度的旋轉(zhuǎn)，亦可以進(jìn)行高度方向做Z坐標(biāo)的測(cè)量;采用雙筒目鏡觀察。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外還可以作斜光線照明。儀器進(jìn)一步可連接CCD電視攝像頭，作工件的輪廓放大;亦可連接計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理等測(cè)量。

測(cè)量顯微鏡可分:(1)光學(xué)測(cè)量顯微鏡、(2)數(shù)碼測(cè)量顯微鏡兩類。

1.光學(xué)測(cè)量

采用透、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作精密測(cè)量。主要運(yùn)用于錄像磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測(cè)試。廣泛地適用于計(jì)量室、生產(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門。

       優(yōu)點(diǎn)：工作臺(tái)除作X、Y坐標(biāo)的移動(dòng)外，還可以作360度的旋轉(zhuǎn)，是一種理想的固定場(chǎng)所小型精密測(cè)量?jī)x器。

2.數(shù)碼測(cè)量

       一種將將顯微鏡看到的實(shí)物圖像通過數(shù)模轉(zhuǎn)換，使其成像在顯微鏡自帶的屏幕上或計(jì)算機(jī)上的顯微鏡設(shè)備。適用于制造業(yè)、精密零件以及不方便移動(dòng)的物件的觀察測(cè)量。廣泛地適用于生產(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門。

       優(yōu)點(diǎn):小巧便攜，只需一臺(tái)計(jì)算機(jī)就可以直觀的觀測(cè)微觀放大圖像，進(jìn)行準(zhǔn)確數(shù)據(jù)測(cè)量、拍照備份圖片及數(shù)據(jù)資料;還可以根據(jù)客戶需要定制特種光源(熒光、紅外)用于特殊場(chǎng)所觀測(cè)。數(shù)碼測(cè)量顯微鏡幾年來得到廣泛的普及使用，已成為一種可靠實(shí)用的精密測(cè)量?jī)x器。